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以便统一洁净室的气体洁净室等级、15811137516，各种技术标准，世界各地都相继制订了各有的洁净室规范，知名的美国之音FS209规范就是从1963年刚开始制订公布执行的，到1991年已从209A持续改动转变为。洁净室规范是来源于各种商品生产工艺流程技术性、商品特性的持续科学研究开发设计、升級和各种各样应用规定，对气体洁净度等级及空气污染物的操纵规定持续转变、提升，尤其是半导体材料集成电路芯片的髙速发展是洁净室等级的扩15811137516张和操纵颗粒粒度日渐严苛的关键标示；洁净室规范也来源于清洁技术性的科学研究开发设计和发展趋势。因而洁净室规范的执行，对洁净室的设计方案修建和运作具备必要性、应用性，它的统一技术标准，严苛的技术性标准要求，统一的检验方式及其确立、严苛的安全性技术标准，早已变成基本建设洁净室工程项目的关键根据。

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